調査
syslog |grep -i "Wake reason"
Wake reason: EHC2
EHC: standing for Enhanced Host Controller, is another USB interface, but can also be wireless devices and bluetooth since they are also on the USB bus of a Mac.
スリープ後にワイヤレスマウスの電源OFFにしたら解決した。
あんまりいい解決法じゃないので設定でできないか要調査。